ICHOR Systems 的CDV系列隔膜閥是專為半導(dǎo)體、高純化工等領(lǐng)域設(shè)計(jì)的傳統(tǒng)型隔膜閥，以 “模塊化設(shè)計(jì) + 全材質(zhì)適配” 為核心，覆蓋手動(dòng) / 氣動(dòng)操作、1/4"~3" 管徑，適用于傳統(tǒng)法蘭 / 卡套 / 管 stub 安裝場(chǎng)景。

性能特點(diǎn)

閥座設(shè)計(jì)和雙層隔膜可延長循環(huán)壽命并減少顆粒產(chǎn)生。

完全清掃潤濕路徑，以減少截留，促進(jìn)吹掃，更大限度地提高Cv，同時(shí)更小化內(nèi)部體積。

氣動(dòng)執(zhí)行器可在執(zhí)行時(shí)快速響應(yīng)。

手動(dòng)和混合執(zhí)行器指示可視的四分之一圈打開和關(guān)閉位置。

可根據(jù)要求提供自定義配置。

主要參數(shù)

流量系數(shù)：Cv=0.3

氣動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)壓力：65-125 PSIG

卡套管集成接頭：1/8“-27 NPT 1/8”，M5氣動(dòng)或1/8“

手動(dòng)和混合執(zhí)行器：¼轉(zhuǎn)手動(dòng)

內(nèi)側(cè)泄漏率：≤10-9 atm cc He/sec

外側(cè)泄漏率：≤10-9 atm cc He/sec

通過閥座的泄漏率：≤10-9 atm cc He/sec

應(yīng)用場(chǎng)景：氣體輸送系統(tǒng)、化學(xué)藥液管理、腔體吹掃維護(hù)等。