VPM-7 SmartPirani ATM 傳感器專為半導(dǎo)體負(fù)載鎖定壓力控制和其他需要準(zhǔn)確測(cè)量相對(duì)于大氣環(huán)境壓力的真空應(yīng)用而設(shè)計(jì)。與傳統(tǒng)的負(fù)載鎖定傳感器和其他負(fù)載鎖定傳感器解決方案相比，它具有同類更高的性能，測(cè)量范圍更廣、精度更高、測(cè)量周期更快。SmartPirani ATM 基于一項(xiàng)正在申請(qǐng)?jiān)S可的技術(shù)，該技術(shù)將導(dǎo)熱性皮拉尼熱損失真空計(jì)的可用測(cè)量范圍擴(kuò)大了 1-3 倍，從而確立了新的標(biāo)準(zhǔn)。一體化多傳感器傳感器解決方案，VPM-7 是一款多傳感器傳感器，具有四個(gè)壓力輸出，結(jié)合了氣壓環(huán)境傳感器、寬量程熱損耗皮拉尼真空計(jì)、膜片傳感器和相對(duì)于大氣壓力的信號(hào)，可優(yōu)化現(xiàn)代負(fù)載鎖定真空室的壓力控制。隔膜傳感器的讀數(shù)不受氣體影響，Abs壓力范圍為 2 至 1333 mbar。

1E-6 至 1333 mbar 寬測(cè)量范圍

MEMS Pirani 和壓電傳感器組合

獨(dú)立于 2 至 1333 mbar的氣體

用于負(fù)載鎖定壓力控制的大氣切換功能

數(shù)字、模擬和設(shè)定點(diǎn)控制功能

1 RS-232 發(fā)送 / RS-485 (-)

2 RS-232 接收 / RS-485 (+)

3 電源電壓 12-30 VDC

4 電源電壓 -（返回）

5 模擬電壓信號(hào) +

6 模擬電壓信號(hào) - （返回）

7 繼電器 1 NO（常開(kāi)觸點(diǎn)）

8 繼電器 1 公共端

9 繼電器 1 NC（常閉觸點(diǎn)）

10 繼電器 2 NC（常閉觸點(diǎn)）

11 繼電器 2 公共端

12 繼電器 2 常開(kāi)（常開(kāi)觸點(diǎn)）

13 繼電器 3 常開(kāi)（常開(kāi)觸點(diǎn)）或模擬輸出 2

14 繼電器 3 公共端

15 繼電器 3 常開(kāi)（常開(kāi)觸點(diǎn)）

PRG-WPRS2-15DS-01 RS-232 轉(zhuǎn) USB、15 針 HD D-sub、電源（90 至 230 VAC）

PRG-WPRS4-15DS-01 RS-485 至 USB、15 針 HD D-sub、電源（90 至 230 VAC）

PRG-WPRS2-9DS-01 RS-232 轉(zhuǎn) USB，9 針 D 型超微，電源（90 至 230 VAC）

PRG-WPRS4-9DS-01 RS-485 通訊器 USB，9 針 D 型超微，電源 (90 至 230 VAC)

產(chǎn)地：丹麥

法蘭：DN16KF

傳感器：MEMS Pirani / Piezo / Atm.

傳感器保護(hù)：標(biāo)準(zhǔn)

通訊：RS-485

輸出：MKS900

單位：mbar

設(shè)定點(diǎn)：3 個(gè)繼電器

連接器：15p HD D-Sub

測(cè)量范圍：1E-6 至 1333 mbar

工作環(huán)境溫度：-20 至 +50 ℃

介質(zhì)溫度：-20 至 +50 ℃

儲(chǔ)存環(huán)境溫度：-40 至 +120 ℃

烘烤溫度（非工作）：+120 ℃

Max介質(zhì)壓力Abs：10 bar

安裝位置：任意

防護(hù)等級(jí)，EN 60529/A2：2013：IP 40

濕度，IEC 68-2-38：98 %，無(wú)冷凝

半導(dǎo)體行業(yè)、分析儀器、綠色和可持續(xù)技術(shù)、工業(yè)涂料、航空航天工業(yè)