SENS4 A/S VPM-7 SmartPirani ATM傳感器專為半導(dǎo)體負(fù)載鎖壓力控制和其他需要準(zhǔn)確測量相對于大氣環(huán)境壓力的應(yīng)用而設(shè)計(jì)。SENS4 A/S VPM-7 提供了同類中更好的性能，具有更寬的測量范圍、更高的精度和比傳統(tǒng)負(fù)載鎖傳感器更快的測量周期，以及其他負(fù)載鎖傳感器解決方案。SENS4 SmartPirani ATM通過將熱導(dǎo)率Pirani熱損失真空計(jì)的可使用測量范圍擴(kuò)展1-3個(gè)數(shù)量級，建立了新的標(biāo)準(zhǔn)。 SENS4 VPM-7 是一款多傳感器變送器，具有四個(gè)壓力輸出：一個(gè)氣壓環(huán)境傳感器、一個(gè)寬范圍熱損失 Pirani 傳感器、一個(gè)膜片傳感器，以及一個(gè)與大氣壓力相關(guān)的信號，它們共同作用于現(xiàn)代負(fù)載鎖真空腔，以優(yōu)化準(zhǔn)確的壓力控制。膜片傳感器提供從 2 到 1333 mbar（1.5 到 1000 Torr）的氣體獨(dú)立讀數(shù)。

15 針 HD D-Sub 公頭/雙模擬輸出

1E-6 至 1333 mbar 寬測量范圍

MEMS Pirani 和壓電傳感器組合

獨(dú)立于 2 至 1333 mbar的氣體

用于負(fù)載鎖定壓力控制的大氣切換功能

數(shù)字、模擬和設(shè)定點(diǎn)控制功能

1 RS-232 發(fā)送 / RS-485 (-)

2 RS-232 接收 / RS-485 (+)

3 電源電壓 12-30 VDC

4 電源電壓 -（返回）

5 模擬電壓信號 +

6 模擬電壓信號 - （返回）

7 繼電器 1 NO（常開觸點(diǎn)）

8 繼電器 1 公共端

9 繼電器 1 NC（常閉觸點(diǎn)）

10 繼電器 2 NC（常閉觸點(diǎn)）

11 繼電器 2 公共端

12 繼電器 2 常開（常開觸點(diǎn)）

13 繼電器 3 常開（常開觸點(diǎn)）或模擬輸出 2

14 繼電器 3 公共端

15 繼電器 3 常開（常開觸點(diǎn)）

PRG-WPRS2-15DS-01 RS-232 轉(zhuǎn) USB、15 針 HD D-sub、電源（90 至 230 VAC）

PRG-WPRS4-15DS-01 RS-485 至 USB、15 針 HD D-sub、電源（90 至 230 VAC）

PRG-WPRS2-9DS-01 RS-232 轉(zhuǎn) USB，9 針 D 型超微，電源（90 至 230 VAC）

PRG-WPRS4-9DS-01 RS-485 通訊器 USB，9 針 D 型超微，電源 (90 至 230 VAC)

產(chǎn)地：丹麥

真空法蘭/傳感器保護(hù)：DN16KF

數(shù)字接口：RS-485 / S4-Connect (9 針和 15 針 D-sub)

模擬輸出：1.0 至 9 VDC 1 VDC/Dec (MKS 901P/925/910)

單位：torr

設(shè)置點(diǎn)：3 個(gè)固態(tài)繼電器

連接：15 針 HD D-Sub 公頭/雙模擬輸出

測量范圍：1E-6 至 1333 mbar

模擬輸出分辨率：16 位 (150 μV)

模擬輸出更新率：124 Hz

響應(yīng)時(shí)間（ISO 19685:2017）：<20 ms

溫度補(bǔ)償：+10 至 +50 ℃

固態(tài)繼電器設(shè)定點(diǎn)范圍：5×10^-6 至 1333 mbar（3.75×10^-6 至 1000 Torr）

固態(tài)繼電器觸點(diǎn)額定值：50 V、100 mArms / mADC

固態(tài)繼電器認(rèn)證：UL 認(rèn)可：文件 E76270；CSA 認(rèn)證：證書 1175739；EN/IEC 60950-1 認(rèn)證

工作環(huán)境溫度：-20 至 +50 ℃

介質(zhì)溫度：-20 至 +50 ℃

儲存環(huán)境溫度：-40 至 +120 ℃

烘烤溫度（非工作）：+120 ℃

Max介質(zhì)壓力Abs：10 bar

安裝位置：任意

保護(hù)等級，EN 60529/A2：2013：IP 40

濕度，IEC 68-2-38：98%，無冷凝

真空熱處理爐、空間環(huán)境模擬、質(zhì)譜儀、半導(dǎo)體、電子顯微鏡、PVD鍍膜