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INTELLIDRIVES開放式 XY 旋轉(zhuǎn)平臺XY-OF-UL-200X200+ACR160UT
- 品牌：INTELLIDRIVES
- 型號：XY-OF-UL-200X200+ACR160UT
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產(chǎn)品介紹
集成系統(tǒng)將線性或 XY 平臺與轉(zhuǎn)臺相結(jié)合，提供交鑰匙解決方案。 平臺可配備直接驅(qū)動直線電機或基于滾珠絲杠的機械裝置。
性能特點
開放式 XY 旋轉(zhuǎn)平臺設(shè)計用于半導體制造行業(yè)中的晶圓處理和許多其他自動化定位應(yīng)用。 位于單元側(cè)面的 XY 驅(qū)動機構(gòu)和大型中心通孔轉(zhuǎn)臺提供了清晰通暢的晶圓訪問。
技術(shù)參數(shù)
XY臺：XY-OF-UL-200x200
旋轉(zhuǎn)臺：ACR-160UT
電機類型：無刷伺服電機/編碼器（標準）
直線伺服電機（選件）
XY行程：200 x 200 mm
中心孔徑：直徑160 mm
分辨率（線性）：1 micron（注 1,2）
2.5 micron（注3）
分辨率（旋轉(zhuǎn)）：1.4 arc-sec
重復性（線性）：5 micron（注3）
1 micron（注 1,2）
重復性（旋轉(zhuǎn)）： 2 arc-sec
速度：400mm/sec（注 3）
800mm/sec（注2）
負載重量： 30 kg
載物臺重量：16 kg
（注1）帶線性編碼器（可選）
（注2）直線伺服電機（可選）
（注 3）滾珠絲杠 10 mm 導程，無刷伺服驅(qū)動
產(chǎn)品尺寸
津公網(wǎng)安備12010102000946號
