Ichor Systems 生產(chǎn)全系列常規(guī)、模塊化隔膜閥、模塊化計(jì)量閥和止回閥，其性能和純度均達(dá)到或超過(guò)所有行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。我們的常規(guī)隔膜閥 (CDV) 系列可為常規(guī)安裝系統(tǒng)提供良好的可靠性和價(jià)值，而我們的模塊化隔膜閥 (MDV) 系列則專為模塊化表面安裝系統(tǒng)而設(shè)計(jì)。我們所有閥門的設(shè)計(jì)均符合 SEMI 規(guī)范，具有高可靠性和性能，并與市場(chǎng)上所有競(jìng)爭(zhēng)系統(tǒng)兼容?？蛻繇毚_保所選部件是符合其安全性能的適當(dāng)部件，同時(shí)考慮到氣體/流體輸送系統(tǒng)的材料兼容性、操作條件、正確安裝等。

CDV：1/4" 2 孔閥 (1-2)

外螺紋面密封

帶 LOTO 手動(dòng)操作

PCTFE (Kel-F)，400 鎳，標(biāo)準(zhǔn)表面處理

純度

材料

底座材料

傳動(dòng)類型

連接 4 型（可選）

連接 3 型（可選）

連接 2 型

連接 1 型

端口配置

產(chǎn)地：美國(guó)

工作壓力：真空至 250 psig

端口配置：2 端口閥 (1-2)

連接 1 類型：外螺紋端面密封

連接 2 類型：外螺紋端面密封

工作溫度：-40 至 150 ℉（-40 至 66 ℃）

主體材料：鎳 400

純度等級(jí)：標(biāo)準(zhǔn)表面處理

閥座材料：PCTFE (KEL-F)

執(zhí)行機(jī)構(gòu)特性：1/4 轉(zhuǎn)，帶 loto

膜片材料：elgiloy

流量系數(shù)：0.3 cv

潤(rùn)濕表面光潔度：16 ra

清洗：超聲波清洗

驅(qū)動(dòng)類型：手動(dòng)操作，帶 Loto

爆破壓力：4500 psig

連接尺寸：1/4 英寸

流體輸送、半導(dǎo)體、制造業(yè)、集成解決方案