SCC7校準(zhǔn)車為射頻發(fā)生器的校準(zhǔn)提供了理想的解決方案。它將高精度的鳥功率傳感器、用戶友好的4421A多功能功率計和低反射負(fù)載組合在一個易于運輸?shù)囊苿影b中。

該系統(tǒng)對于在不同位置具有多個RF發(fā)生器的半導(dǎo)體晶圓廠來說是必不可少的。校準(zhǔn)車在出廠時已根據(jù)用戶要求進(jìn)行配置。功率傳感器可供選擇，覆蓋從250 kHz到170 MHz的各種頻帶。此外，還提供了一些額定功率為max.1kW至10kW的負(fù)載。請聯(lián)系Bird尋求定制幫助，以確保校準(zhǔn)車針對您的應(yīng)用程序進(jìn)行了優(yōu)化。

Bird更新了原來的校準(zhǔn)車（SCC71系列），現(xiàn)在加入了新的4421A系列多功能功率計。這些新的校準(zhǔn)卡（SCC72系列）具有更大、更方便的用戶界面，可以同時顯示正向功率、反射功率和回波損耗。通過保持功率傳感器和負(fù)載的相同選擇，測量能力和高精度保持不變。

• 適用于潔凈室環(huán)境
• 帶鎖輪的不銹鋼推車設(shè)計便于運輸和輕松使用
• 可定制，可選擇功率傳感器和負(fù)載配置
• 高回波損耗確保功率測量誤差小
• 通過可用的頻率和功率升級，系統(tǒng)可適應(yīng)未來的需求

產(chǎn)地：美國

電表：4421A多功能電表

傳感器選項：4020系列、4027A系列或4027F系列

負(fù)載選項：超穩(wěn)定負(fù)載或高功率負(fù)載

頻率范圍

4020系列傳感器：100 KHz至1000 MHz

4027A系列傳感器：250 KHz至65 MHz

4027F系列傳感器：1.8 MHz至65 MHz

阻抗：50歐姆

電源要求：115/230 VAC，±10%，50/60 Hz

連接器類型：客戶指定

操作位置：僅垂直

腳輪：4鎖定旋轉(zhuǎn)接頭

結(jié)構(gòu)材料：不銹鋼推車

環(huán)境溫度范圍：0°C至35°C（32°F至95°F）

（10 kW型號0°C至40°C/32°F至104°F）

儲存溫度：-20°C至70°C（-4°F至158°F）

濕度：max.85%（非冷凝）

海拔高度：5000英尺（1524米）以上的減額負(fù)載

尺寸（完全組裝）

1 kW和2.5 kW型號：42英寸x 20英寸x 42英寸（107厘米x 51厘米x 107厘米）

5 kW和10 kW型號：52英寸x 20英寸x 42英寸（132厘米x 51厘米x 107厘米）

重量（完全組裝）

1 kW和2.5 kW型號：175磅（80公斤）

5 kW和10 kW型號：250磅（114公斤）