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ATOVAC節(jié)流閥控制器GPC3000

GPC3000壓力流量控制器主要為電容壓力計(jì)提供電源(±15VDC),接收并顯示來(lái)自它的壓力信號(hào),連接節(jié)流閥,并使用PID或自整定功能控制壓力。其中,如果使用自整定功能,則通過(guò)檢測(cè)流入腔...
  • 品牌:ATOVAC
  • 型號(hào):GPC3000
  • 閱讀次數(shù):958

產(chǎn)品介紹

GPC3000壓力流量控制器主要為電容壓力計(jì)提供電源(±15VDC),接收并顯示來(lái)自它的壓力信號(hào),連接節(jié)流閥,并使用PID或自整定功能控制壓力。其中,如果使用自整定功能,則通過(guò)檢測(cè)流入腔室的氣體量、泵速、閥位引起的真空壓力變化等重要參數(shù)來(lái)獲取壓力控制因素。如果用戶使用此功能來(lái)控制壓力,可以更快地達(dá)到所需壓力。內(nèi)置兩個(gè)過(guò)程限位繼電器,幫助用戶設(shè)備過(guò)程。

性能特點(diǎn)

  • 作為一個(gè)選項(xiàng),GPC3000 有一個(gè)PCB 卡,至多可連接4 個(gè)MFC,每個(gè)PCB 包含2 個(gè)通道(連接2 個(gè)MFC)。
  • GPC3000 的設(shè)計(jì)非常方便且易于通過(guò)本地(前面板)、I/O 或RS-232 遠(yuǎn)程(RS-485 選項(xiàng))進(jìn)行控制。

技術(shù)參數(shù)

  • 壓力輸入信號(hào):標(biāo)準(zhǔn):0-10 VDC
  • 所需輸入功率:90-132 或 180-264 VAC,50/60 赫茲
  • 控制器重復(fù)性:±0.1% FS
  • 輸出功率:±15 VDC  ±5% @ 1.5 安培
  • 模擬輸出信號(hào):0-10 VDC 用于 0-100% 閥門位置和 0-10 VDC 用于 1-100%,F(xiàn)S 壓力
  • 尺寸:1/2-機(jī)架包裝:88mm H x 241mm W x 225 D

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