SXUV 系列極紫外（EUV）增強(qiáng)型檢測器具有良好的 13.5 納米光刻能力，在 1 到 190 nm的極紫外曝光條件下具有穩(wěn)定的響應(yīng)性，是進(jìn)行核心的極紫外光測量的適配之選。溫度超過這些參數(shù)可能會(huì)在有源區(qū)產(chǎn)生氧化物生長。隨著時(shí)間的推移，對低能量輻射和 150 nm 以下波長的響應(yīng)能力將受到影響。裝運(yùn)時(shí)附帶臨時(shí)蓋板，以保護(hù)光電二極管陣列和導(dǎo)線鍵合。取下蓋子之前，請閱讀應(yīng)用說明 “AXUV、SXUV 和 UVG 檢測器的處理注意事項(xiàng)”。

圓形有效區(qū)域

適用于 EUV 檢測

高速

柵線 5 微米，間距 100 微米

高輻射硬度

高光子通量魯棒性

TO-8 封裝

防護(hù)蓋板

產(chǎn)地：美國

零件編號(hào)：ODD-SXU-004

有源面積：19.7 mm²

25 ℃ 時(shí)的電光特性

有源面積 Φ5.01 mm：20 mm²

反向擊穿電壓V_R ，I_R = 1 µA：160 V

電容C ，V_R = 0 V：500 至 1500 pF

上升時(shí)間 R_L = 50 Ω，V_R = 150 V：3.5 ns

暗電流 V_R = 150 V：100 nA

熱參數(shù)

環(huán)境溫度：-10 至 40 ℃

氮?dú)饣蛘婵眨?20 至 80 ℃

引線焊接溫度：260 ℃

引線焊接：距離外殼 0.080 英寸，持續(xù) 10 秒

航空航天、汽車、生物技術(shù)、食品加工、軍事/國防、工業(yè)、半導(dǎo)體設(shè)備制造、測試和測量