更換 KF 定心環(huán)，便于安裝。用于在初始抽空期間對(duì)低真空泵進(jìn)行節(jié)流。當(dāng)?shù)驼婵毡眠\(yùn)行時(shí)，初始流量會(huì)導(dǎo)致葉片組件關(guān)閉——自動(dòng)對(duì)泵進(jìn)行節(jié)流。當(dāng)達(dá)到設(shè)定的壓差時(shí)，閥門會(huì)自動(dòng)打開。

• 304 不銹鋼結(jié)構(gòu)，帶 Elgiloy 彈簧
• 溫度100°C
• 通過降低初始抽速來減少系統(tǒng)中的湍流*
• 非常適合對(duì)系統(tǒng)內(nèi)顆粒破壞敏感的應(yīng)用（半導(dǎo)體、薄膜等）
• 在對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行排氣時(shí)，也可與排氣閥一起使用，以避免過高壓差和高湍流
• 有助于防止基材損壞
• 取代昂貴的壓力控制旁通閥
• 在測(cè)試期間12 毫秒快速關(guān)閉葉片 或更好**
• 無需電源即可運(yùn)行

*使用軟啟動(dòng)止回閥的典型抽空時(shí)間增加了 3 倍。

**測(cè)試時(shí)間使用 27 CFM 泵抽空 100 升的體積測(cè)量。結(jié)果會(huì)因系統(tǒng)配置而異。