用于去除光刻應用中的碳氫化合物、酸和堿 。Luminousgard 使用點在線氣體凈化器可有效去除氣體中的碳氫化合物以及有機物、酸堿雜質(zhì)和顆粒。這些超純活性精度氣體過濾器對于凈化半導體制造工藝中光刻應用的凈化氣體尤為有效。

可去除 CDA、N₂、Ar 和 He 氣體中的雜質(zhì)

優(yōu)良的初始清潔度

有效去除氣流中的微粒

無需電源即可使用

多種型號適用于各種流速

LUMINOUSGARD 氣體凈化器：Max流量 30 slpm

LUMINOUSGARD 1000 氣體凈化器：Max流量 200 slpm

LUMINOUSGARD 2000 氣體凈化器：Max流量 500 slpm

LUMINOUSGARD 4000 氣體凈化器：Max流量 800 slpm

訂購編號LPDF 10R R4：Luminousgard 1000氣體凈化器 1/2 "墊片密封（兼容1/2 "VCR）公頭

訂購編號LPDF 10S S4：Luminousgard 1000 氣體凈化器 1/2" 壓縮密封件（兼容 1⁄2" Swagelok卡套管接頭）

產(chǎn)地：美國

濾芯材質(zhì)：PTFE/PFA

外殼材質(zhì)：316L/304 不銹鋼

截留率

揮發(fā)性碳氫化合物：≥ 99.9 % （≥ C₆ 碳氫化合物）

揮發(fā)性酸：≥ 99.9 %（如 SO₂、SO₃、NO₂、HCl、H₂S）

揮發(fā)性堿：≥ 99.9 %（如 NH₃、CH₃NH₂、[CH₃]₃N）

顆粒：≥ 99.9999999 % 清除所有 ≥ 0.003 µm 的顆粒

初始下游清潔度

揮發(fā)性物質(zhì)：≤ 1 ppb （≥C₆ 揮發(fā)性碳氫化合物數(shù)量 @ 1 slpm)

微粒：≤ 0.03 微粒/L ≥ 0.01 µm @ 30 slpm

入口/出口連接：1/2 英寸墊片密封（1/2 英寸 VCR 兼容）外螺紋接頭

氣體類型：CDA、N₂、Ar 和 He

Max流速：200 slpm

設計壓力：0.98 兆帕（9.8 巴，142.1 psig）@ 25 °C (77 °F)

Max設計正向壓差：0.7 兆帕（7 巴，101.5 psid）@ 25 °C (77 °F)

Max設計反向壓差：0.25 兆帕（2.5 巴，36.3 psid）@ 25 °C (77 °F)

Max工作溫度：50 °C (122 °F) - 惰性氣體

大約產(chǎn)品重量：3.21 kg（7.08 磅）

使用壽命：準確確定使用壽命需要流量、占空比、雜質(zhì)類型和雜質(zhì)濃度。

潔凈干燥空氣 (CDA)、曝光設備的鏡頭吹掃氣體管路、激光發(fā)生器的清洗氣體管路、惰性氣體供應管路