在 CMP 漿料應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性、可靠的比例控制，NT6300 型比例控制閥專(zhuān)為高純應(yīng)用而開(kāi)發(fā)。該閥與高腐蝕性工藝兼容，專(zhuān)為 CMP 漿料應(yīng)用而設(shè)計(jì)，是解決當(dāng)今流量控制需求的適配選擇。該閥的潤(rùn)濕件采用 PFA 和 PTFE 材料，非潤(rùn)濕件采用惰性材料，可抵御惡劣的化學(xué)環(huán)境和外部噴淋。采用新型電機(jī)驅(qū)動(dòng)技術(shù)，內(nèi)部電子元件可控制閥門(mén)步進(jìn)電機(jī)的所有方面。閥門(mén)的驅(qū)動(dòng)采用 Entegris 先進(jìn)的算法設(shè)計(jì)，以保持所需的設(shè)定點(diǎn)。

PFA 和 PTFE 潤(rùn)濕表面，具有廣泛的化學(xué)兼容性，適用于高純度應(yīng)用

非金屬外部組件，耐腐蝕性延長(zhǎng)了產(chǎn)品使用壽命

雙隔膜結(jié)構(gòu)，防止電機(jī)和電子元件接觸化學(xué)品。保護(hù)工藝免受污染

優(yōu)化的閥座和隔膜設(shè)計(jì)，很大限度地減少死體積和流體剪切力，實(shí)現(xiàn)從全關(guān)到全開(kāi)的可靠控制

占地面積小，便于在空間有限的地方安裝

電機(jī)驅(qū)動(dòng)技術(shù)，提供平穩(wěn)、準(zhǔn)確的線(xiàn)性控制

產(chǎn)地：美國(guó)

流體部件本體材質(zhì)：PFA

隔膜材質(zhì)：PTFE

非潤(rùn)濕部件材質(zhì)：聚丙烯、氟橡膠、PVDF

響應(yīng)時(shí)間：5 至 95 % 滿(mǎn)刻度時(shí)< 4 秒

壓力范圍：100 至 414 kPa（-14.5 至 60 psig）

過(guò)壓限制：689.5 kPa (100 psig)

過(guò)程溫度：10 至 65°C (50 至 149°F)

電氣輸入：24 VDC ± 10 %，穩(wěn)壓

設(shè)定點(diǎn)輸入信號(hào)：4 至 20 mA、0-10 VDC、0-5 VDC；還包括單獨(dú)的歸位線(xiàn)

外殼：NEMA 5 / IP 54

連接類(lèi)型：Flaretek 管接頭和 Super 300 型支柱管接頭

符合認(rèn)證：CE

關(guān)鍵分配、化學(xué)品添加和混合的控制、溫度、壓力、流量、電導(dǎo)率等任何獨(dú)立模擬傳感器的閉環(huán)控制