無論是自動化、過程控制還是保障問題，都需要對液體化學(xué)品和 CMP 泥漿進(jìn)行準(zhǔn)確的流量控制，因此儀表須清潔、準(zhǔn)確和可靠。Entegris 采用新型的電子技術(shù)和高純度材料，設(shè)計(jì)出的液體流量控制器，可更好地控制工藝流量變量。NT集成流量控制器 (IFC) 6500 型專為高純液體化學(xué)儀器和漿料應(yīng)用而開發(fā)。該儀器的閥座和隔膜設(shè)計(jì)用于大限度地減少死體積和流體剪切力，從而降低工藝污染的可能性。IFC 6500 型的潤濕部件采用含氟聚合物，非潤濕部件采用惰性材料，可抵御惡劣的化學(xué)環(huán)境和外部噴淋。NT IFC 6500 型采用雙聚四氟乙烯閥門隔膜，用于流體密封和污染保護(hù)。采用的電動閥和流量計(jì)技術(shù)，封裝的內(nèi)部電子元件可控制流量控制器的所有方面。該裝置由設(shè)定點(diǎn)信號（即 4 - 20 mA、0 - 10 VDC、0 - 5 VDC）激活，以將流體流量保持在所需的設(shè)定點(diǎn)。

用于高純度應(yīng)用的 PTFE 潤濕表面

非金屬組件具有耐腐蝕性

內(nèi)置壓力傳感器提供額外的過程信息

在關(guān)鍵分配應(yīng)用中可獲得百分之一 (1%) 的滿量程精度

占地面積小，便于在空間有限的地方進(jìn)行現(xiàn)場安裝

快速響應(yīng)，實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的分配率

產(chǎn)地：美國

潤濕部件閥體材質(zhì)：PTFE

潤濕部件膜片材質(zhì)：PTFE

傳感器接口材質(zhì)：PFA 或 CTFE

主 O 形圈材質(zhì)：Perfrez

非潤濕部件：聚丙烯、FEP、PVDF 和氟橡膠（除上述材料外）

工藝溫度：10 至 65 ℃(50 至 149 °F)

電氣輸入：24VDC（± 10 %）@ 1 A

電氣輸出：兩個 4-20 mA 電氣隔離輸出，一個用于流量，一個用于壓力

流量測量：

在 20-滿流量范圍內(nèi)為滿量程的 ± 1 %

流量范圍的 10-20% 時為滿量程的 ± 2.5 %

(使用去離子水在 23 °C [73 °F] 下進(jìn)行校準(zhǔn)）

重復(fù)性：流量范圍 20-滿 時，滿量程的 ± 0.5 %；流量范圍 10-20 % 時，滿量程的 1 %。

壓力測量范圍：0 至 414 kPa (0- 60 psig)

Min工作壓力（入口處）：69 kPa (10 psig)

Max工作壓力：414 kPa (60 psig)

過壓限制：690 kPa (100 psig)

壓力測量精度：滿刻度的 1 %（包括線性、滯后和重復(fù)性的綜合影響）

電氣外殼：IP54

可靠性：浸濕部件，>300 萬次循環(huán)

響應(yīng)時間：< 3 秒（10 % 至 95 % 滿量程流量范圍）

設(shè)定點(diǎn)輸入信號：4 - 20 mA、0 - 10 VDC、0 - 5 VDC

符合認(rèn)證：CE

用于關(guān)鍵分配應(yīng)用的持續(xù)流量控制、CMP 泥漿分配，取代現(xiàn)有蠕動泵、用于化學(xué)品添加和混合的批量控制、按需化學(xué)混合應(yīng)用