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APTECH調(diào)壓閥AZ1015S 2PW FV4 FV4

產(chǎn)品介紹

SS 316L結(jié)構(gòu)

10 µin.表面處理(25 µin.可選)

真空至3500 psig(241 bar)入口

1至300 psig(0.07至21 bar)出口

清洗,組裝和包裝用于高純度半導(dǎo)體應(yīng)用

流量

-標(biāo)準(zhǔn)至30 slpm

-HF選項(xiàng)為120 slpm

使用點(diǎn)應(yīng)用的首選調(diào)節(jié)器

旋鈕LOTO

規(guī)格參數(shù)

傳輸壓力:5至150 psig(0.34至10 bar)

耐壓:工作壓力的150%

爆破壓力:工作壓力的300%

流量系數(shù)(Cv):0.09(可選0.15 HF)

內(nèi)部容積:0.49 in3(8 cm3

端口:2口對(duì)接焊

閥體,噴嘴:SS 316L

隔膜:SS 316L

涂層:電拋光和鈍化

閥座:PCTFE(可選聚酰亞胺和PTFE)

入口/出口連接:1/4英寸面密封,母接頭

舷內(nèi)泄漏:2 x 10-10 sccs

舷外泄漏:2 x 10-9 sccs He

座椅泄漏:4 x 10-8 sccs

安裝面或面板(可選)

工作溫度:-40°至+ 160°F(-40°至+ 71°C)


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