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MUEGGE等離子元件MWMUEGGE

產(chǎn)品介紹

低壓微波等離子體源

可擴(kuò)展和緊湊的設(shè)計

大面積應(yīng)用

高等離子體密度

高效率

低傷害

輕松適應(yīng)定制系統(tǒng)

雙等離子體的組合可以用于獲得二維等離子體陣列。單個源以及2個,4個和8個平行排列的等離子體可用于等離子體輔助表面處理,如表面活化,蝕刻和沉積。雙等離子體是不使用磁場的直接微波等離子體源。在簡化的描述中,它類似于由微波激發(fā)的反向發(fā)光管,雙等離子體通常在約1000Pa至10Pa的低壓下操作。由兩個磁控管產(chǎn)生的具有2.45GHz頻率的微波在兩端被饋送到等離子體線中。在外部低壓狀態(tài)下放電點(diǎn)火,隨著微波功率的增加,等離子體從沿著管的兩端增長,并且形成軸向均勻的等離子體。

規(guī)格參數(shù)

頻率:915MHz / 2450MHz / 5800MHz

HF-輸入功率:典型2 kW/ m @ 1 mbar

波導(dǎo):同軸8/26

過程壓力:典型值0.1 mbar - 1 mbar

等離子體密度:在2450MHz時高達(dá)1012/ cm3

典型的過程氣體:ArO 2,N 2 H 2,NH 3,SiH 4,HMDSO

電子溫度:~2eV

同質(zhì)性:優(yōu)于5%

材料:

腔室:鋁

氣體噴淋:鋁

等離子體源:石英,AL2O3

冷卻:水/空氣合并

連接器:

同軸8/26(微波)

接頭套管(水,空氣,氣體)

尺寸:客戶特定

MW電源元件

MUEGGE短路活塞MW2009D-260ED


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