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PALOMAR高真空爐3150

3150高真空爐封裝采用非常低的真空和濕度水平密封,以延長長期性能。提供低至 10-7 Torr 的真空度和高達(dá) 500°C(可選 1000°C)的溫度。潔凈室兼容系統(tǒng)還可配置為允許蓋...

產(chǎn)品介紹

3150高真空爐封裝采用非常低的真空和濕度水平密封,以延長長期性能。提供低至 10-7 Torr 的真空度和高達(dá) 500°C(可選 1000°C)的溫度。潔凈室兼容系統(tǒng)還可配置為允許蓋子和封裝的原位分離、吸氣劑燒制和MEMS封裝的密封。使用渦輪分子阻力泵來有效泵送氫氣分子。對(duì)于需要很低水平殘留水蒸氣的工藝,可以將可選的低溫水泵添加到系統(tǒng)中。

性能特點(diǎn)

  • 高真空能力
  • 可選的低溫水泵
  • 渦輪分子泵
  • 壓力為12 psig
  • 自動(dòng)線性運(yùn)動(dòng)階段
  • 電阻石墨熱系統(tǒng)
  • 專有運(yùn)行分析儀軟件
  • 自動(dòng)溫度和壓力控制
  • 分布式邏輯控制系統(tǒng)
  • 原位熱量激活
  • 所有配置文件運(yùn)行的實(shí)時(shí)繪圖
  • 溫度高達(dá)1000°C(可選)

技術(shù)參數(shù)

  • 工作溫度范圍:室溫至500°C(1000°C選項(xiàng))
  • 熱工作區(qū):25“2(160 cm2)
  • min真空水平:<1 x 10-7托爾(1.3 x 10-7mbar)
  • max室內(nèi)氣PSI:15 psig(1.8 bar)
  • 室深度:12英寸(305毫米)
  • 工作表面高度:37英寸(95厘米)可調(diào)
  • 需要壓縮空氣:90 psig(7 bar)
  • 冷卻方法:可編程氮?dú)馇逑?/li>
  • 加熱方法:可移動(dòng)的電阻石墨夾具
  • 工藝氣體(三個(gè)輸入):需要N2,(AR,HE,形成氣體可選) @ 90psig(7 bar)min壓力
  • 尺寸(w x d x h):94“ x 43” x 54“(238 x 109 x 137 cm)
  • 體重:1800磅(816公斤)
  • 電氣(指定電壓):208-240伏,60安培,50/60 Hz,1階段,7.3千瓦平均值,13.2千瓦峰
  • 真空泵類型:渦輪分子阻力(可選的低溫水泵)
  • 冷卻水:2 GPM(8 lpm) @ 20-25°C,2千瓦的容量min

 

 

 

 


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